매스 플로우 콘트롤러

매스 플로우 콘트롤러는, 반도체 제조 라인에서 성막·에칭 등을 행하는 가스 공급 시스템 중에서, 정밀하게 가스 유량을 제어하는 역할을 하는 가장 중요한 부품의 하나입니다. 반도체 웨이퍼의 대구경화에 수반하여 반도체 제조 장치도 대형화되는 가운데, 가스 공급 시스템에 대한 소형화 요구가 해마다 높아져 고도의 연구 개발의 성과를 살린 고성능 정밀 유체 제어 기기를 상품화하여 하이테크 산업의 발전에 공헌하고 있습니다.