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계측·검사장치

에칭장치 및 계측장치, 검사장치등 히타치 하이테크의 핵심 기술을 활용한 제품을 제공합니다.


제품 일람

  • RS6000 Series (Defect Review)
    고속ADR, 고정도ADC에 따라, 수율개선에 공헌하는 인라인 대응 다목적 결함리뷰SEM
  • SEM CG6300
    1Xnm이하 차세대 양산프로세스대응 측정SEM
  • SEM CG5000
    1Xnm세대개발 또는 22nm세대 양산프로세스대응 측정SEM
  • IS-Series
    고감도 검출 및 높은 처리량 검사에 의한 고속 제품 모니터링을 실현 수율 향상 및 생산 비용 절감에 기여하는 차세대 Dark Field Wafer Inspection System
  • LS-Series
    Non Pattern Wafer의 미세 이물 · 결함을 고감도로 검출하는 차세대 Wafer Inspection System

제품 정보 상세 페이지

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Fax번호 031-636-4458

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